庵始建于明正德初年，为证材、证杭、证粉所创建。明万历末年，禅师济川云游至此-。崇祯十三年(1640)，庵院已有僧人73人，大藏经柜有4，收藏经书数百卷，道场所用大桌铜磬等物一应俱全。知县薛国柱为其庵亲撰碑文。清顺治年间，庵内为证粉主持。据载，庵属山林地亩遍布西冶川。清代中期始败落。

　　　　卧云庵依龙堂崖修建，岩下庵墙俱用雕凿整齐之长石叠砌，高达10余米，气势宏伟。庵院分前后两院，前院房屋已成瓦砾，面积约400余平方米；后院长70余米，最宽处约30米，面积约为2 000平方米。二门西侧建有东厢房4间。依南石岩建有砖拱窑洞6眼。而后即为天然岩洞“龙堂窟”，洞口高4米，内高10米，宽30米，深20余米。洞正中遗存5尊木雕座像，大者2尊，高1米余；小者3尊，高0.8米。彩绘剥落，面目不清。院西有松林，在乔灌木中有墓塔3座：一为明万历十三年(1585)介休施主所立，其余两座墓塔倾圮，记载已失。前墓砖砌，并排安置棺木3副，似为创始人之墓。

　　　　据崇祯十三年碑载：庵明季四代：始于证材、证杭、证□3人；徒子玄陆1人；徒孙宗晖、宗台、宗明、宗映、宗曜、宗照、宗璧、宗映、宗晾、宗寿10人；重孙广成、广印、广智3人。清代康熙五年，庵内只留证□一支，其侄玄文1人，孙宗照、宗晾、宗澄、宗启4人，重孙广喜、广元、广玉、广义、广秀、广明、广胤7人，曾孙兴福、兴旺、兴社、兴胜4人。