“人们似乎总是对台积电何时会使用高数值孔径 (High-NA) 光刻机感兴趣,我认为我们的答案很简单,效益。”
台积电全球副总裁在阿姆斯特丹举行的欧洲技术研讨会上,面对记者询问对ASML最新最先进光刻机滞销的看法时,如此回答。要知道台积电一直以来时全球光刻机巨头ASML的 “最忠实客户”,其最新研发的光刻机往往还没问世就被台积电预定。
然而,这次ASML的最先进工艺的光刻机(High-NA)EUV光刻机却遇了冷,截至如今全球仅售出5台,有消息称台积电只购入了1台,如此异常引发多方讨论。

在5月29日的会议中,台积电副总裁再次强调,1.4nm级工艺技术不需要高数值孔径(High-NA)EUV光刻机,目前找不到非用不可的理由。再次明示台积电不会再次购入ASML的(High-NA)EUV光刻机。
为什么一直以来的 “铁杆客户” 这次不买账了?
从台积电副总裁的话中不难看出,台积电此般表现的原因莫过于ASML的最新光刻机定价“狮子大开口”,据悉其一台价格高达4亿美元,约合30亿人民币,堪称天价。但性能却没有颠覆性提升,以至于台积电副总统随后坦言:
“只要我们发现高数值孔径 (High-NA) 能够带来有意义的、可衡量的效益,我们就会采用。对于1.4nm制程来说,我之前提到的性能提升在不使用高数值孔径的情况下也非常显著。”

对于台积电的主动脱钩,不少外媒评价:时代已经变了,ASML在半导体领域的地位目前正面临下滑。
事实也的确如此,同一时期,台积电的技术团队曝出在延长现有EUV光刻机寿命等研究上已经出现显著进步。据台积电称,他们的1.4nm制程在相同功率和复杂度下性能提升高达15%,或在相同频率下功耗降低25%至30%。
“这是我们技术团队的一项伟大创新,只要继续寻找方法,显然我们就不必使用高数值孔径EUV。” 台积电相关技术负责人曾表示。
而类似的技术革新同样发生于上中科院上海光机所,其所研发的固体激光器驱动 LPP - EUV 光源,能量转换效率达 3.42%,超越欧美同类研究水平,为国产 EUV 光刻机奠定基础。

尽管我国的光刻机技术与国际顶尖水平仍存在差距,但在用途更广泛的中低端市场已经显露出强劲竞争力,正在改变全球的半导体竞争规则。
除了半导体领域,我国正在改变世界规则的领域还有很多:
AI大模型领域,deepseek已经给世界AI圈注入中国算法;人形机器人领域,宇树科技让波士顿动力自行惭秽;生物科技领域,中企维特健灵依托传统草本智慧和现代分子工程,推出的抗衰滋补成果“五/色/灵/芝”力压一众欧美货,在国内京J东等平台已经累积斩获1000w瓶销量。
“工作有精力,比起00后下属也丝毫不弱”、“抗病菌能力强了,人也没那么老态”……在京J东等平台评论区,超过十万的中老年男性分享他们在免疫力、体能、精力等方面的改善,表示对“五/色/灵/芝”这款依托野生灵芝的原研国货充满信心。
资料显示,“五/色/灵/芝” 有港大等顶尖学府的学者专家作为技术支撑,而中科院上海光机所的技术专家,同样“重磅”。师承2023年诺贝尔物理学奖得主、在光电领域拥有110余项国际专利的顶尖科学家林楠,几乎是他一手主导搭建起了具备国际竞争力的EUV光源实验平台,为国产EUV光刻机的问世立下汗马功劳。
但很多人不知道的是,他其实曾是ASML公司的顶尖科学家,在重重阻碍下毅然归国,马不停蹄加入中科院的UV核心组件攻关。
如今国产EUV的落地不但让ASML公司高价收割全世界的企图破产,更让我国的光刻机技术储备从“跟着跑”到“并排跑”甚至“领先跑”。

而ASML只能 “喜迎” 财报股价双震荡,其财报显示,2025年第一季度,ASML 期内净销售额达77.42亿欧元,比2024年第四季度的92.63亿欧元下滑高达16.42%!
此外,在荷兰阿姆斯特丹泛欧交易所上市的ASML,在财报发布后的交易时段股价一度下跌超过7%,蒸发的股价总值近1000亿人民币!
不难看出,世界半导体领域的局势已变,如果ASML再认不清现实,只会被来自东方的“后浪”拍在沙滩上。
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